Visualisierung von Oberflächenstrukturen im Nano-Bereich
Mögliche Anwendungsbereiche:
- Korngrenzen und Walzstrukturen im Nanometerbereich sichtbar machen
- Einschlüsse, Verunreinigungen oder z.B. beginnende Whisker-Bildung erkennen
- Exakte Präparation und Identifikation von feinsten Beschichtungen
- Risse oder Delaminationen im Mikro- und Nanobereich sichtbar herausarbeiten
Ionenstrahl-Ätzen
Bei einer mechanischen Schliffpräparation mit anschließendem Mikro-Polieren ist es nicht zu vermeiden, dass aufgrund der unterschiedlichen Materialhärte Verwischungen entstehen, die eine Untersuchung von Übergangs-Schichten und -Strukturen im Nanometer-Bereich unmöglich machen.
Durch das Ionenstrahl-Ätzen wird Material einer Schliffprobe auf Atomebene abgetragen. Der Ionenstrahl ist computergesteuert, mit integrierter Kamera-Kontrolle, auf einen ausgewählten Oberflächen-Bereich gerichtet. Feinste Verwischungen werden so entfernt und kleinste Details wieder sichtbar.
Anschließend werden diese Flächen z.B. im Raster-Elektronen-Mikroskop (REM) oder mit der EBSD-Technik (electron backscatter diffraction) analysiert, um somit Strukturen und Verläufe im Nanometer-Bereich bewerten und dokumentieren zu können.